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西安交大研制出超高温冲击压的硅隔离耐高温压力传感器

日前,一种可抗2000℃瞬时超高温冲击的硅隔离耐高温压力传感器在西安交大精密工程研究所研制成功。

专家认为,这一国家“863”计划项目的完成,将有效解决我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量和瞬时高温冲击下传感器失效的技术难题,打破了国外同类产品对我国传感器市场的垄断,提升了我国这一行业的整体水平和国际竞争能力,具有很高的推广和使用价值。

据介绍,常规的硅压力传感器只能在120℃以下进行压力测量,超过120℃时,传感器的性能会严重恶化以至失效。常规的测量方法和手段不能满足高温等恶劣环境下的压力测量和自动化领域越来越高的测量精度要求,致使我国高温压力传感器产品长期以来主要依赖进口。西安交大研制的耐高温压力传感器能在-30℃~250℃环境下进行压力测量,可完成1000Mpa以下任意量程范围的压力测量,能承受2000℃瞬时高温冲击。可满足高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力测量,具有自主知识产权,填补了国内在此领域的多项空白,对于推动我国仪器仪表工业的发展,培养新的经济增长点具有重要意义。

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